蔡司EVO系列掃描電鏡（SEM）是材料科學、生命科學和納米技術領域中至關重要的高分辨率成像工具。其杰出的成像能力和靈活的操作模式，為科研人員提供了觀察微納結構的強大支持。然而，為確保設備性能穩定并獲得高質量的成像結果，正確使用和規范操作至關重要。以下是EVO系列蔡司掃描電鏡的關鍵使用事項。
 

　　一、樣品制備：成像質量的基礎

　　1.導電性處理：對于非導電樣品，需進行噴金導電處理，避免電荷積累導致圖像漂移或放電損傷。導電樣品可直接觀察，但表面需盡量平整。

　　2.樣品尺寸與固定：樣品臺承載直徑通常≤100mm，厚度≤20mm。樣品需用導電膠或雙面膠固定在樣品臺上，脆弱樣品建議使用低粘性膠或機械夾持。

　　3.真空適應性：生物樣品需經過臨界點干燥或冷凍干燥處理，防止水分在真空環境下揮發造成樣品損傷；含揮發性成分的樣品需密封或避免長時間觀察。

　　二、操作流程：從開機到成像

　　1.設備啟動

　　開機順序：先啟動電子槍真空系統，再初始化電子束。日常使用前需檢查真空度和電子槍狀態。

　　2.參數設置

　　①加速電壓：常規觀察選用5-15kV；

　　②工作距離（WD）：5-10mm；

　　③束流密度：根據樣品導電性調整，非導電樣品需降低束流避免充電效應。

　　3.圖像采集：通過控制軟件調節對比度與亮度，選擇掃描速度。拍攝高分辨率圖像時，建議使用低放大倍數預覽定位，再逐步放大目標區域。

　　三、維護與安全：延長設備壽命

　　1.日常維護：每次使用后清潔樣品臺殘留物，定期檢查電子槍燈絲壽命，避免燈絲過熱或斷裂。

　　2.環境要求：實驗室需保持恒溫（20-25℃）、低濕度（<60%），避免振動和電磁干擾。長時間停機后需進行真空烘烤。

　　3.安全操作：嚴禁在真空未達標時強行進樣，非專業人員不得調整高壓電源或電子槍參數。操作時佩戴防護眼鏡，防止樣品碎屑飛濺。

　　EVO系列掃描電鏡通過精細的操作與規范的維護，能夠充分發揮其高分辨率、大景深的優勢，為科研人員提供清晰、真實的微觀世界圖像。遵循上述使用事項，不僅能提升成像質量，更能確保設備長期穩定運行，是獲得可靠實驗數據的關鍵保障。