共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能
基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對更廣泛或更特殊的測量需求,該平臺通常支持一些擴(kuò)展功能和配件,以增強(qiáng)其應(yīng)用能力。
1. 大范圍掃描與圖像拼接:
標(biāo)準(zhǔn)物鏡的單次掃描視場是有限的。對于需要測量超出單視場范圍的大面積樣品(如大尺寸光學(xué)元件、平板顯示器局部、機(jī)械密封面等),可以使用軟件的大范圍掃描和圖像拼接功能。
工作原理:通過高精度的電動載物臺,控制樣品在X和Y方向規(guī)則移動,按網(wǎng)格順序依次測量多個相鄰區(qū)域。軟件隨后自動將這些區(qū)域的測量數(shù)據(jù),根據(jù)重疊區(qū)域的特征進(jìn)行識別和對齊,拼接成一幅完整、無縫的大尺寸三維形貌圖。
應(yīng)用價值:可以在保持高分辨率的同時,評估大面積區(qū)域的整體平整度、粗糙度分布、缺陷的宏觀分布等,而不會遺漏跨視場的特征。
2. 高速掃描模式:
對于需要快速進(jìn)行大量樣品檢測或在線監(jiān)控的應(yīng)用,某些配置或模式可能提供更高的掃描速度。
3. 高動態(tài)范圍(HDR)干涉測量:
當(dāng)樣品表面同時存在高反射率區(qū)域(如金屬)和低反射率區(qū)域(如深色材料)時,標(biāo)準(zhǔn)白光干涉模式可能難以同時獲得良好的信號。高動態(tài)范圍技術(shù)通過組合不同曝光時間下采集的多幅干涉圖,擴(kuò)展探測器的有效動態(tài)范圍。
4. 膜厚測量模式:
對于透明或半透明薄膜(如氧化物薄膜、光刻膠、涂層),標(biāo)準(zhǔn)的形貌測量通常只能得到上表面形貌。專用的薄膜厚度測量模式,利用白光干涉的垂直掃描干涉原理,分析從薄膜上表面和下表面反射光產(chǎn)生的干涉信號,可以非接觸地測量薄膜厚度。
5. 電動傾斜臺:
標(biāo)準(zhǔn)測量要求樣品表面大致垂直于光軸。對于具有固定傾角或需要測量特定傾斜面的樣品,可以配備電動傾斜樣品臺。該樣品臺可以精確地傾斜和旋轉(zhuǎn)樣品,將待測面調(diào)整到適合測量的方向。
6. 環(huán)境隔離與特殊樣品臺:
隔振臺或主動隔振系統(tǒng):對于環(huán)境振動敏感的高精度測量,可以提供更好的穩(wěn)定性。
溫控樣品臺:用于研究溫度變化對樣品表面形貌的影響,或在恒溫條件下進(jìn)行測量。
真空或氣氛控制樣品室:用于測量在空氣中易氧化、潮解或需要特殊氣氛保護(hù)的樣品。
7. 專用分析軟件模塊:
除了標(biāo)準(zhǔn)分析包,可能還提供針對特定行業(yè)或應(yīng)用的高級分析模塊,例如:
這些擴(kuò)展功能并非標(biāo)準(zhǔn)配置,用戶在選型或后續(xù)升級時,可以根據(jù)自身的具體測量需求(如樣品尺寸、測量速度、特殊樣品特性、環(huán)境要求等)向供應(yīng)商咨詢,選擇適合的配件和軟件模塊,從而將共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2的應(yīng)用潛力進(jìn)一步拓展到更專業(yè)的領(lǐng)域。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴(kuò)展功能