• 三維顯示：掃描完成后，軟件以偽彩色圖、等高線圖、陰影渲染圖等多種方式實時顯示三維形貌。用戶可以自由旋轉(zhuǎn)、縮放、平移三維視圖，從不同角度觀察表面起伏。

  
  

• 數(shù)據(jù)校正：提供一系列數(shù)據(jù)后處理工具來優(yōu)化形貌圖，例如：

  
  

• 傾斜校正：去除樣品放置傾斜或基準(zhǔn)面不平帶來的整體傾斜。

  
  

• 形狀去除：去除球面、圓柱面等基礎(chǔ)形狀，以觀察局部細(xì)節(jié)。

  
  

• 濾波：應(yīng)用高斯濾波、中值濾波等，平滑噪聲或分離不同頻率的表面成分（如粗糙度、波紋度、形狀誤差）。

  
  

• 無效數(shù)據(jù)修補：對于因信號丟失（如過亮或過暗點）造成的無效數(shù)據(jù)點，可以進(jìn)行插值修補。

  
  

• 輪廓提取：用戶可以在三維形貌圖上任意位置畫一條線，軟件立即提取并顯示該線的二維截面輪廓曲線。

  
  

• 輪廓分析：對輪廓曲線進(jìn)行詳細(xì)分析，可測量臺階高度、角度、曲率半徑、水平距離等。可以按照ISO 4287等線粗糙度標(biāo)準(zhǔn)計算Ra, Rz, Rq等參數(shù)。

  
  

• 高度參數(shù)：如算術(shù)平均高度Sa、均方根高度Sq、最大高度Sz等，描述表面的垂直起伏。

  
  

• 空間參數(shù)：如紋理方向、紋理對比度等，描述表面紋理的分布特性。

  
  

• 功能參數(shù)：如表面承載面積比曲線、峰頂體積等，用于研究表面的摩擦、磨損、密封等功能特性。

  
  

• 點、線、面測量：測量兩點間三維距離、空間角度、直線的長度和方向、平面的面積和傾斜度。

  
  

• 體積與面積測量：計算指定區(qū)域上方或下方的體積（如凹坑容積、凸起物體積）、表面積、投影面積等。這對于分析材料磨損量、涂層用量、孔隙率等有用。

  
  

• 臺階高度與薄膜厚度：通過定義基準(zhǔn)平面和測量平面，自動計算臺階高度或薄膜厚度（需樣品有清晰臺階）。

  
  

• 多區(qū)域統(tǒng)計：對同一表面的多個相同特征（如多個焊點、顆粒）進(jìn)行測量，自動計算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、最大值、最小值等統(tǒng)計量。

  
  

• 批量報告：對于按序列測量的多個樣品或區(qū)域，可以自動生成匯總報告，包含所有測量結(jié)果和統(tǒng)計信息。

  
  

• 數(shù)據(jù)比較：可以將不同批次或不同工藝處理的樣品測量數(shù)據(jù)進(jìn)行比對分析。

  
  

• 數(shù)據(jù)導(dǎo)出：三維形貌數(shù)據(jù)、二維輪廓數(shù)據(jù)、測量結(jié)果等可以導(dǎo)出為通用的ASCII, CSV, Excel等格式，方便導(dǎo)入到SPC（統(tǒng)計過程控制）系統(tǒng)或其他專業(yè)分析軟件。

  
  

• 圖像導(dǎo)出：三維視圖、二維圖像可以保存為圖片格式（如PNG, JPEG, BMP）。

  
  

• 自定義報告：用戶可以利用內(nèi)置的報告編輯器，將選定的圖像、圖表、數(shù)據(jù)表格和文本說明組合成結(jié)構(gòu)化的測量報告，模板可定制，并導(dǎo)出為PDF或Word文檔。

  
  

通過這套集成的軟件分析功能，S lynx2的用戶不僅能夠“看到"表面形貌，更能對其進(jìn)行深入的量化表征和統(tǒng)計分析，從而為質(zhì)量判定、工藝優(yōu)化和科學(xué)研究提供客觀的數(shù)據(jù)支持。

共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 軟件分析功能