Sensofar 3D光學輪廓儀的光學薄膜檢測
Sensofar S neox 3D光學輪廓儀在光學薄膜檢測中具有重要應用。光學薄膜是現代光學系統的關鍵組成部分,其表面質量直接影響光學性能。該儀器為光學薄膜的檢測提供了有效的技術手段。
在薄膜厚度測量方面,儀器可以測量薄膜表面的臺階高度,從而得到膜厚信息。對于多層膜結構,可以通過選擇性刻蝕制備臺階,測量各層厚度。儀器的垂直分辨率可以達到亞納米級,滿足光學薄膜的測量要求,確保薄膜厚度的精確控制。表面缺陷檢測是另一個重要應用。儀器可以檢測薄膜表面的點缺陷、劃痕等瑕疵,統計缺陷的密度和分布。對于激光損傷閾值要求高的薄膜,表面微缺陷的檢測尤為重要。它的大面積掃描功能可以實現全場缺陷檢測,提高檢測效率。薄膜應力分析也可以通過表面形貌測量間接實現。儀器可以測量薄膜沉積前后的基片形貌變化,通過翹曲度計算薄膜應力。這種方法為優化沉積工藝提供了重要反饋。對于大面積薄膜,可以測量應力的分布情況,確保薄膜均勻性。在光學性能預測方面,表面粗糙度與散射損耗直接相關。儀器可以精確測量薄膜表面的微觀起伏,評估表面質量對光學性能的影響。對于高反射膜、增透膜等光學薄膜,表面粗糙度控制是保證光學性能的關鍵因素。值得一提的是,該儀器可以測量薄膜斷面的形貌,分析薄膜的截面結構。結合傾斜測量功能,可以獲得更完整的薄膜三維信息。這些數據對理解薄膜生長機理、優化制備工藝具有指導意義,有助于提高光學薄膜的性能和質量。
Sensofar 3D光學輪廓儀的光學薄膜檢測