Sensofar 3D光學輪廓儀的超精密檢測

產品簡介

Sensofar 3D光學輪廓儀的超精密檢測：Sensofar S neox憑借高分辨率與5軸測量能力，可對光學元件、精密模具及微結構進行超精密三維形貌分析，確保其尺寸、面形與粗糙度符合嚴苛的制造標準。

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更新時間：2025-11-27

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Sensofar 3D光學輪廓儀的超精密檢測

Sensofar S neox 3D光學輪廓儀在超精密加工件的質量檢測中發揮著重要作用。現代制造業對加工精度的要求不斷提高，這使得高精度的檢測手段顯得尤為重要。該儀器憑借其高分辨率特性，為超精密加工領域提供了可靠的測量方案。

在光學元件加工領域，儀器的白光干涉模式可以精確測量復雜光學元件的面形誤差。同時，它能夠檢測表面粗糙度，評估加工過程中可能引入的微觀缺陷。對于紅外光學元件，儀器可以測量衍射結構的幾何參數，確保光學性能符合設計要求。

精密模具的型腔檢測是另一個重要應用。儀器可以測量微細結構的尺寸精度和形狀誤差，其共聚焦模式能夠獲取較完整的側壁形貌信息。5軸運動系統允許從不同角度測量復雜型面，獲得全面的三維數據。這些測量結果對于提高模具加工質量具有指導意義。

該儀器在超精密車削、銑削表面評價中也表現出色。它可以量化分析加工紋理的特征，評估刀具磨損狀態對表面質量的影響。通過三維形貌數據，可以計算表面的支承率曲線，預測零件的摩擦磨損性能。

在微機電系統制造中，儀器用于測量微結構的尺寸精度和形狀公差。對于復雜微結構，它能提供全面的幾何參數評價。此外，儀器還能監控刻蝕過程的均勻性，保證工藝穩定性。

值得一提的是，儀器的大面積拼接功能使其能夠測量超出單視場的大型工件。通過自動拼接算法，可以獲得完整工件的三維形貌數據，這對大型光學元件等工件的檢測特別有用。

Sensofar 3D光學輪廓儀的超精密檢測

上一個：Sensofar 3D光學輪廓儀的新能源應用

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