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產品簡介
sensofar 3D光學輪廓儀在半導體行業的應用：Sensofar S neox以高分辨率、非接觸三維測量能力，精準表征晶圓平整度、TSV通孔及MEMS器件等關鍵參數，為半導體工藝開發與質量控制提供可靠數據支撐。
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sensofar 3D光學輪廓儀在半導體行業的應用
半導體制造工藝對檢測技術提出了要求，隨著器件尺寸的不斷縮小和三維結構的廣泛應用，傳統檢測方法面臨新的挑戰。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀以其非接觸、高分辨率的特性，在半導體行業多個環節發揮著重要作用。