白光干涉儀S neox的5軸測量意義

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白光干涉儀S neox的5軸測量意義：Sensofar S neox的5軸測量系統通過傾斜與旋轉樣品臺，使復雜表面的目標區域始終垂直對焦，實現對傾斜面、側壁等特征的精確三維形貌測量。

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更新時間：2025-11-18

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白光干涉儀S neox的5軸測量意義

在三維表面測量中，一個常見的挑戰是如何精確測量具有復雜幾何形狀的樣品，例如傾斜的平面、柱狀體的側面或球面的特定區域。傳統的三軸（X, Y, Z）測量系統在測量這些非水平表面時，可能因樣品表面與物鏡光軸不垂直而導致信號質量下降或無法測量。Sensofar S neox提供的5軸測量能力，為應對這一挑戰提供了更多靈活性。

5軸系統通常指三個線性軸（X, Y, Z）和兩個旋轉軸（傾斜和旋轉）。S neox的集成式5軸系統允許樣品臺不僅能在平面內移動和垂直掃描，還能進行精密的傾斜和旋轉調整。

這種設計的直接好處是，用戶可以通過調整樣品的傾斜和旋轉角度，使待測的復雜表面區域與物鏡的光軸保持垂直。例如，在測量一個微切削工具的刃口時，可以通過傾斜樣品臺，將刃口的一個特定斜面調整到最佳測量位置。這對于獲取陡峭側壁的完整、準確形貌信息尤為重要，因為垂直入射的光線能獲得的信號和最高的分辨率。

此外，5軸系統便于多視角測量。對于某些具有遮擋或深孔的結構，從一個角度可能無法觀測到全部特征。通過旋轉樣品，可以從不同角度進行測量，然后利用軟件將多個視角的數據融合，生成更完整的三維模型。

在自動化測量中，5軸聯動也提升了效率?？梢灶A先設定好程序，讓儀器在測量不同特征時自動將樣品調整到最佳角度，無需手動重新裝夾，保證了測量位置的可重復性和數據的準確性。

因此，Sensofar S neox的5軸測量能力，擴展了白光干涉儀對復雜幾何形狀樣品的測量適應性，使對傾斜面、側壁等特征的精確、重復性測量變得更加可行。

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