在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、精密光學(xué)等領(lǐng)域，表面上的微米甚至亞微米級顆粒污染物可能對產(chǎn)品性能或可靠性產(chǎn)生明顯影響。因此，對表面潔凈度的監(jiān)控和顆粒污染的分析顯得必要。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀不僅能提供高清晰度的表面圖像，更能通過三維形貌測量對檢測到的顆粒進(jìn)行量化分析。

傳統(tǒng)的顆粒檢測可能依賴于二維圖像分析，但二維方法難以區(qū)分真實(shí)顆粒與表面色斑或劃痕，也無法獲得顆粒的高度或體積信息。S neox通過三維測量提供了更豐富的數(shù)據(jù)。

檢測流程通常如下：首先，利用S neox的光學(xué)成像能力快速掃描一個(gè)相對大的區(qū)域，進(jìn)行初步的顆粒定位和篩查。然后，可以切換到更高倍率的物鏡，對疑似顆粒的區(qū)域進(jìn)行精細(xì)的三維掃描。

獲得三維形貌數(shù)據(jù)后，SensoMAP軟件的分析功能可以發(fā)揮作用。通過設(shè)定適當(dāng)?shù)母叨乳撝岛统叽绾Y選條件，軟件可以自動(dòng)識別并定位出表面上的顆粒狀特征。對于每一個(gè)被識別的顆粒，軟件可以計(jì)算出一系列參數(shù)，例如：

•投影面積：顆粒在XY平面上的覆蓋范圍。

•高度：顆粒的頂點(diǎn)相對于基底的高度，反映了顆粒的“厚度"。

•體積：顆粒的三維空間體積，這對于評估污染物總量可能提供參考。

•密度分布：在較大區(qū)域內(nèi)統(tǒng)計(jì)單位面積上的顆粒數(shù)量。

這些定量數(shù)據(jù)比單純的“有"或“無"的定性判斷包含更多信息。例如，通過分析顆粒的高度和形狀，有時(shí)可以對顆粒的來源或性質(zhì)進(jìn)行初步推斷（如球形顆?？赡芘c某些工藝相關(guān)）。顆粒的體積信息對于評估污染程度也可能具有參考價(jià)值。

白光干涉儀S neox的微顆粒檢測分析