白光干涉儀S neox的高反射表面測量

產品簡介

白光干涉儀S neox的高反射表面測量；Sensofar S neox通過可調光源、偏振附件與優化算法，有效抑制高反光表面過曝，實現對拋光金屬、硅片等樣品的高質量三維測量。

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更新時間：2025-11-12

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白光干涉儀S neox的高反射表面測量

高反射表面，如經過拋光的不銹鋼、金屬鍍層、硅片等，在光學測量中是一把劍。一方面，高反射率意味著信號強度可能足夠；另一方面，強烈的鏡面反射容易導致相機探測器飽和，產生“耀斑"，掩蓋表面細節，并使干涉條紋過曝，從而無法進行有效的三維形貌重建。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀提供了多種應對策略，以處理高反射表面帶來的測量挑戰。

最直接的調節手段是控制光源強度。S neox配備可自動或手動調節亮度的LED光源。對于高反射表面，用戶可以大幅降低光源亮度，以避免探測器飽和。這是處理大多數高反射表面情況有效的方法。

當僅調節光強仍不足以消除局部過曝或耀斑時，偏振技術可以作為一種有效的輔助手段。S neox可以選配偏振器附件。通過調整起偏器和檢偏器的相對角度，可以選擇性地抑制來自樣品表面的強反射光成分，同時保留用于形成干涉的漫反射或特定偏振方向的反射光，從而改善圖像質量，獲得對比度更好的干涉條紋。

此外，調整照明方式也可能帶來改善。例如，在某些情況下，利用非科勒照明或其他特定的光路設置，可以分散強烈的反射光斑，減輕其對整體圖像的影響。

除了光學調節，軟件算法也提供了一定的補救措施。即使原始圖像中存在部分過曝區域，*的三維重建算法也會嘗試利用有效的干涉信號部分來重建形貌，盡可能減少數據丟失區域。對于因過曝而無效的點，軟件會進行標識，用戶可以在結果中清晰看到這些區域。

對于某些特殊結構的高反射表面，如球面或弧面，強烈的反射可能會造成更大的困難。此時，可能需要結合多種策略，例如使用低倍物鏡以減少單位面積的光通量，同時降低光強，并仔細調整樣品傾斜角度，以找到優良的測量位置。

因此，面對高反射表面，Sensofar S neox并非束手無策。它通過硬件上的光強可調、偏振附件可選，以及軟件上的算法優化，為用戶提供了多種可以嘗試的方案。用戶可以根據具體樣品的特點，靈活運用這些工具，從而實現對各類高反射表面較為有效的三維形貌測量。

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