S neox針對光學元件檢測配備專屬附件，包括0.65X Michelson物鏡，能以大視野快速測量平面度。機身采用防光干擾設計，外殼啞光處理減少雜散光，內部光學通道經過遮光優化。檢測平臺配備真空吸附裝置，可穩固固定透鏡、棱鏡等光滑樣品，避免夾持變形。軟件內置光學元件專用模板，包含曲率半徑、面型誤差等參數的一鍵分析功能。
二、性能聚焦：面型與粗糙度精準捕捉
干涉模式下的 PSI 技術能實現亞納米級縱向分辨率，搭配低倍率物鏡可在大視野下保持高精度，適合透鏡面型檢測。共聚焦模式配合 150x 高倍率物鏡，能測量光學表面＞70° 的局部斜面。針對高反射樣品，采用抗反射涂層鏡頭，減少光線反射干擾，提升成像質量。檢測數據符合 ISO 12775 標準，可直接用于光學元件質量評估。
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