奧林巴斯顯微鏡適配多樣需求的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
奧林巴斯OLS5100提供靈活的樣品臺(tái)配置,既有100×100mm的手動(dòng)款適合小型樣品檢測(cè),也有300×300mm的電動(dòng)款適配大面積樣品,最大樣品高度可達(dá)210mm,能容納大型機(jī)械零件等樣品。設(shè)備的體積設(shè)計(jì)考慮了實(shí)驗(yàn)室空間需求,機(jī)身尺寸約800mm×600mm×1200mm,在保證穩(wěn)定性的同時(shí)節(jié)省占地。
擴(kuò)展性能豐富是其一大特點(diǎn),側(cè)面預(yù)留的接口可連接拉曼光譜儀、原子力顯微鏡等設(shè)備,實(shí)現(xiàn) “共聚焦成像 + 其他分析技術(shù)" 的聯(lián)用,一次檢測(cè)獲取多種數(shù)據(jù)。控制箱采用模塊化設(shè)計(jì),后期維護(hù)時(shí)可快速更換故障模塊,減少停機(jī)時(shí)間。
外殼的防靜電噴涂處理不僅能抵抗化學(xué)腐蝕,還能保護(hù)內(nèi)部電子元件免受靜電損害,在電子半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室等靜電敏感環(huán)境中也能安全使用。
該設(shè)備的掃描效率能滿足不同場(chǎng)景需求:快速掃描模式下幀率達(dá) 10 幀 / 秒,可在短時(shí)間內(nèi)完成樣品初步篩查;精細(xì)掃描雖耗時(shí)稍長(zhǎng),但 4096×4096 像素的高分辨率能捕捉細(xì)微結(jié)構(gòu),適合深入分析。
Lext 專用物鏡的設(shè)計(jì)解決了傳統(tǒng) lenses 外周測(cè)量偏差的問(wèn)題,在檢測(cè)樣品邊緣區(qū)域時(shí),數(shù)據(jù)可靠性更高。高度測(cè)量的重復(fù)精度在不同物鏡下表現(xiàn)穩(wěn)定,50× 與 100× 物鏡下均能達(dá)到 0.012μm,寬度測(cè)量 3σ 重復(fù)精度在 100× 物鏡下為 0.02μm,多次測(cè)量的數(shù)據(jù)一致性較好。
彩色 DIC 成像與激光共聚焦成像可同步進(jìn)行,既能獲得樣品的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié),又能保留顏色信息,在生物樣品、彩色涂層等檢測(cè)中優(yōu)勢(shì)明顯。數(shù)據(jù)導(dǎo)出支持多種格式,能直接導(dǎo)入主流分析軟件,無(wú)需格式轉(zhuǎn)換。
型號(hào)選擇可參考應(yīng)用場(chǎng)景:電子半導(dǎo)體行業(yè)推薦 OLS5100-SAF,高倍率與高精度適合晶圓檢測(cè);機(jī)械制造行業(yè)可選 OLS5100-LAF,大樣品空間適配零件檢測(cè);科研實(shí)驗(yàn)室可選用 OLS5100-SMF,均衡性能滿足多學(xué)科需求。
敏感樣品檢測(cè):選擇非接觸掃描模式,降低激光強(qiáng)度至樣品耐受范圍,如生物樣品可選用 532nm 綠色激光,減少光損傷。
大面積樣品檢測(cè):?jiǎn)⒂脠D像拼接功能,設(shè)置 15% 重疊率,選擇電動(dòng)樣品臺(tái)自動(dòng)移動(dòng),掃描過(guò)程中避免觸碰設(shè)備。
微小缺陷檢測(cè):切換至 100× 物鏡,采用精細(xì)掃描模式,開(kāi)啟軟件的缺陷識(shí)別功能,自動(dòng)標(biāo)記異常區(qū)域。
批量樣品檢測(cè):創(chuàng)建檢測(cè)模板,保存物鏡倍數(shù)、掃描參數(shù)等設(shè)置,后續(xù)檢測(cè)直接調(diào)用,配合樣品臺(tái)自動(dòng)定位功能提高效率。
多技術(shù)聯(lián)用:連接擴(kuò)展設(shè)備后,通過(guò)主控軟件同步控制,實(shí)現(xiàn)共聚焦成像與其他分析的時(shí)序聯(lián)動(dòng),確保檢測(cè)位置一致。
在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域,某企業(yè)用 OLS5100 檢測(cè) PCB 焊盤(pán)高度與平整度,通過(guò) 3D 數(shù)據(jù)判斷焊接質(zhì)量,減少不良品流出。涂層行業(yè)中,某涂料企業(yè)借助其測(cè)量涂層厚度與均勻性,優(yōu)化涂布工藝參數(shù),提升產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。
精密機(jī)械加工中,刀具制造商通過(guò)該設(shè)備分析刀具磨損軌跡,量化磨損體積,為刀具材料改進(jìn)提供數(shù)據(jù)。新能源領(lǐng)域,鋰電池企業(yè)用其檢測(cè)集電器表面粗糙度,確保涂布均勻,提高電池循環(huán)壽命。
生物材料研究中,科研人員用其觀察軟gu組織的微觀結(jié)構(gòu)變化,為軟gu修復(fù)材料研發(fā)提供依據(jù)。在金屬材料領(lǐng)域,還能檢測(cè)金屬表面的納米劃痕與腐蝕坑,評(píng)估材料的耐磨損與耐腐蝕性能。
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