Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面疊加技術的高精度表面測量設備。該設備采用非接觸式測量方式，適用于多種材料表面的三維形貌分析，廣泛應用于半導體、光學元件、精密加工、生物醫(yī)學等領域的表面質(zhì)量控制。Sensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案

設備具備高分辨率和高精度，能夠實現(xiàn)納米級表面粗糙度的測量，滿足ISO 25178標準的測量要求。其共聚焦技術提供高橫向分辨率，可達0.10μm，適用于臨界尺寸的測量。干涉技術則提供納米級精度的表面高度測量，適用于光滑表面的精細測量。多焦面疊加技術則適用于粗糙表面的測量，最大斜率可達86°，適用于工件和模具的測量。

設備支持多種放大倍率和視場選擇，適用于不同尺寸和形狀的樣品測量。其非接觸式測量技術避免了對樣品的損傷，適用于多種材料表面的測量。設備配備高分辨率傳感器和自動聚焦功能，操作簡便，適合快速測量和數(shù)據(jù)分析。Sensofar輪廓儀高精度表面測量解決方案

Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集共聚焦、干涉和多焦面疊加技術于一體的高精度表面測量設備。其核心優(yōu)勢在于非接觸式測量，適用于多種材料表面的三維形貌分析。設備具備高分辨率和高精度，適用于半導體、精密光學、生物醫(yī)學等領域的表面測量。

設備采用共聚焦技術，具備高橫向分辨率，可達0.10μm，適用于臨界尺寸測量。干涉技術則提供納米級精度的表面高度測量，適用于光滑表面的精細測量。多焦面疊加技術則適用于粗糙表面的測量，最大斜率可達86°，適用于工件和模具的測量。

設備支持多種放大倍率和視場選擇，適用于不同尺寸和形狀的樣品測量。其非接觸式測量技術避免了對樣品的損傷，適用于多種材料表面的測量。設備配備高分辨率傳感器和自動聚焦功能，操作簡便，適合快速測量和數(shù)據(jù)分析。