光學輪廓儀依靠高精度光學成像與干涉測量技術，完成工件表面粗糙度、微觀形貌、臺階高度及三維輪廓檢測。規范樣品測試流程，可避免測量誤差、保護儀器鏡頭，保證數據重復性與準確性。
一、樣品前期準備規范
樣品表面保持潔凈，去除粉塵、油污、水漬、毛刺及加工碎屑，防止雜質遮擋測量區域、劃傷光學鏡頭。
軟質材料、易劃傷工件需輕拿輕放，避免表面產生二次劃痕、壓痕，影響真實形貌數據。
不規則樣品提前做好支撐定位，保證放置平穩，無晃動、傾斜，杜絕受力變形。
二、測試環境規范
測試區域保持平穩，遠離震動、氣流、強光直射，減少環境干擾造成條紋抖動、成像模糊。
控制環境溫濕度穩定，避免潮濕結露、灰塵堆積，防止鏡頭污染與光路異常。
測試臺面整潔，禁止雜物堆積，預留操作與移動空間。
三、樣品放置與定位規范
將待測區域對準鏡頭中心，合理調整樣品高度與擺放角度，避開邊緣、形變、缺陷無效區域。
薄型、柔性、易變形樣品，采用專用工裝夾具固定，保證表面平整無拉伸、無彎曲。
批量測試時統一放置基準，保持測量位置一致，保障數據可對比。
四、儀器操作測試規范
開機完成自檢與基準校正后，再放置樣品檢測，嚴禁直接開機倉促測量。
緩慢調節升降行程，控制鏡頭與樣品間距，禁止鏡頭直接接觸樣品表面，防止碰撞損壞光學部件。
根據樣品材質、表面粗糙度，合理選擇測量模式、放大倍率與掃描范圍，參數匹配樣品工況。
掃描過程中禁止觸碰樣品、臺面及儀器機身，防止位移造成掃描中斷、輪廓失真。
五、測試完成后規范
測量結束后先抬升鏡頭，再取下樣品，避免取件剮蹭鏡頭。
及時清理臺面殘留雜物，特殊油污、腐蝕性樣品測試后，對臺面進行清潔消毒。
整理保存檢測數據、圖譜報告，分類歸檔；長時間不檢測，關閉光源，儀器待機或正常關機。
六、通用禁忌要求
禁止測試強腐蝕、強揮發、尖銳鋒利且無防護的樣品，避免腐蝕儀器、劃破光學鏡片。
嚴禁超行程、超倍率強行測量，不隨意修改專業核心參數。
樣品存在明顯凸起、異物時，提前預處理，防止測量時頂傷設備。
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更新時間：2026-04-24
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